k8凯发|我可以稍微放进你里面吗|ASM申请用于处理模件的晶片分度机构专利可将衬

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  专利摘要显示✿ღღ◈,一种用于衬底处理系统的处理模块的处理模块包括真空室和非真空室k8凯发✿ღღ◈。衬底支撑件定位在真空室中我可以稍微放进你里面吗k8凯发✿ღღ◈,配置成支撑进入真空室的衬底我可以稍微放进你里面吗k8凯发凯发APP官网✿ღღ◈,✿ღღ◈,并且联接至磁体k8凯发✿ღღ◈。金属部件进一步定位成包括非真空室中的马达线圈✿ღღ◈。当马达线圈被激励时✿ღღ◈,马达线圈和磁体相互作用以产生磁场k8凯发✿ღღ◈,从而允许衬底支撑件围绕第一轴线旋转并将衬底放置在期望位置✿ღღ◈。还描述了用于衬底处理系统的处理模块的旋转晶片分度器和制造衬底分度器的方法✿ღღ◈。

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