凯发k8娱真人2020年集成电路用光刻机出货约410台EUV方面还是ASML(A

  2020年全球集成电路ღღ、面板ღღ、LED用光刻机出货约580台ღღ,较2019年增加30台ღღ。其中集成电路制造用光刻机出货约410台ღღ。

  数据表明ღღ,2020年全球集成电路ღღ、面板ღღ、LED用光刻机出货约580台ღღ,较2019年增加30台ღღ。其中集成电路制造用光刻机出货约410台;面板ღღ、LED用光刻机出货约170台ღღ。

  从EUVღღ、ArFiღღ、ArF三个高端机型的出货来看ღღ,2020年共出货143台凯发k8娱真人ღღ,较2019年的154台下滑7%ღღ。其中ASML出货121台凯发k8娱真人ღღ,占有85%的市场ღღ,较2019年增加1个百分点;Nikon出货22台ღღ,占有15%的市场ღღ,较2019年减少1个百分点ღღ。

  EUV方面还是ASML独占鳌头ღღ,市占率100%;ArFi方面ASML市占率高达86%ღღ,较2019年减少2个百分占;ArF方面ASML占有67%的市场份额ღღ,较2019年增加4个百分点;KrF方面ASML也是占据71%的市场份额ღღ,较2019年增加8个百分点;在i线%的市场份额ღღ。

  从总营收来看欧美眼影和日韩眼影ღღ,2020年前三大ASMLღღ、Nikon凯发APP官网ღღ,ღღ、Canon的光刻机总营收达988亿元人民币ღღ,较2019年小幅增长4.6%ღღ。从营收占比来看ღღ,ASML占据79%的份额ღღ,较2019年增加5个百分点ღღ。ASML在2020年各型号光刻机出货数量增长13%ღღ,且高端机台EUV的出货量增加了5台ღღ,也使得总体营收增长超过10%ღღ。

  2020年ASML的EUV光刻机营收达350亿元人民币ღღ,占光刻机整体收入的45%欧美眼影和日韩眼影ღღ,较2019年增加133亿元人民币欧美眼影和日韩眼影ღღ。2020年单台EUV平均售价超过11亿元人民币ღღ,较2019年单台平均售价增长35%ღღ。从2011年出售第一台EUV机台以来ღღ,截止2020年第四季出货超过100台ღღ,达101台ღღ。且EUV机台单价越来越高ღღ,据悉ღღ,2020年第四季接获得的6台总额达86亿人民币ღღ,单台价格超过14亿人民币ღღ。

  2020年来自中国的光刻机收入占比18%ღღ,超过140亿人民币ღღ,表明中国内地各大FAB至少共搬入30台以上光刻机ღღ。

  2020年度ღღ,Nikon光刻机业务营收约120亿元人民币ღღ,较2019年下滑23%ღღ。

  2020年度ღღ,Nikon集成电路用光刻机出货33台ღღ,较2019年减少13台ღღ。其中ArFi光刻机出货11台ღღ,和2019年度持平;ArF光刻机出货11台ღღ,较2019年度减少2台;KrF光刻机出货2台ღღ,较2017年度减少2台;i-line光刻机出货9台欧美眼影和日韩眼影ღღ,较2019年度减少9台ღღ。

  2020年度ღღ,Nikon全新机台出货26台ღღ,翻新机台出货7台ღღ。 2020年ღღ,Nikon面板(FPD)用光刻机出货20台ღღ,较2019年下跌50%ღღ。但面板用光刻机主要是10.5代线台ღღ。

  2020年ღღ,Canon光刻机营收约为88亿元人民币ღღ,较2019年下降约7%ღღ。

  2020年ღღ,Canon半导体用全部是i-lineღღ、KrF两个低端机台出货ღღ,光刻机出货量达122台ღღ,较2019年出货增加38台ღღ,增幅32%ღღ,其中i-line机台是出货的主力ღღ,得益于化合物半导体和板级封装的发展ღღ。

  2020年7月ღღ,Canon针对板级封装推出i线iWღღ,可对应尺寸最大到515×510mm大型方形基板的能力ღღ。据悉佳能自主研发的投影光学系统可实现52×68mm的大视场曝光ღღ,达到了板级基板封装光刻机中高标准的1.0微米解像力凯发APPღღ!ღღ,将极大推动追求高速处理的AI芯片ღღ、HPCR的封装ღღ。

  佳能还将在2021年3月出货新式i线步进式光刻机“FPA-3030i5a”ღღ,可以对硅基以及SiC(碳化硅)和GaN(氮化镓)等化合物半导体晶圆ღღ,从而实现多种半导体器件的生产制造ღღ。

  2020年2月正式出货FPA-3030iWa型光刻机ღღ,采用的投影透镜具有52毫米x52毫米的广角ღღ,NA可从0.16到0.24范围内可调ღღ。新设备可以在2英寸到8英寸之间自由选择晶圆尺寸的处理系统凯发k8娱真人ღღ,方便支持各种化合物半导体晶圆ღღ,可运用在未来需求增长的汽车功率器件ღღ、5G相关的通信器件ღღ、IoT相关器件(如MEMS和传感器等)的制造工艺中ღღ。 2020年ღღ,Canon面板(FPD)用光刻机出货32台ღღ,较2019年出货量减少18台ღღ,下滑36%ღღ。

  上海微电子装备(集团)股份有限公司光刻机主要用于广泛应用于集成电路前道ღღ、先进封装凯发K8官网首页ღღ。ღღ、FPDღღ、MEMSღღ、LEDღღ、功率器件等制造领域ღღ,2020年出货预估在60+台ღღ,较2019年增加约10台ღღ,主要集中在先进封装ღღ、LED方面凯发k8娱真人ღღ,在FPD领域也有出货ღღ。

  不错ღღ,我国正在协力攻关193nm DUV光刻机和浸没式光刻机ღღ,在先进没光刻机方面进展还是相当快ღღ。至于网上流传的上海微电子将在2021年交付28纳米光刻机一事ღღ,芯思想研究院认为不要很乐观ღღ,但也不要悲观ღღ。能成功交付当然是好事ღღ,不能按时交付媒体也不要去喷凯发k8娱真人ღღ。

  德国SUSS光刻机主要用于半导体集成电路先进封装ღღ、MEMSღღ、LEDღღ,2020年光刻机收入约7.8亿元人民币ღღ,较2019年成长10%ღღ。

  2020年公司来自先进封装ღღ、MEMS和LED用光刻机的营收约为4亿元人民币AG凯发K8真人娱乐ღღ,ღღ,较2019年成长30%ღღ。预估销售台数在30台以内ღღ。

  从2018年以来ღღ,ASML一直在加速EUV技术导入量产;二是实验以0.55 NA取代目前的0.33 NAღღ,具有更高NA的EUV微影系统能将EUV光源投射到较大角度的晶圆ღღ,从而提高分辨率欧美眼影和日韩眼影ღღ,并且实现更小的特征尺寸ღღ。

  从2011年出售第一台EUV机台以来ღღ,截止2020年第四季出货101台ღღ。且EUV机台单价越来越高ღღ,据悉ღღ,2020年第四季接获得的6台总额达86亿人民币ღღ,单台价格超过14亿人民币ღღ。

  预估2022年将推出0.55 NA的新机型EXE:5000样机ღღ,可用于1纳米生产ღღ,按照之前的情况推测ღღ,真正量产机型出货可能要等到2024年ღღ。当然0.55 NA镜头的研发进度也会影响新机型的出货时间ღღ。 2020年ASML全年出货31台EUV光刻机ღღ,没有达到预期的35台ღღ,也许和2020年的新冠疫情有关ღღ。

  针对 7纳米米以下节点ღღ,ASML的重点是EUVღღ,同时也向客户出售ArF浸没系统ღღ,ArF浸没系统可与多种曝光工艺配合使用凯发k8国际手机ღღ,ღღ,将DUV光刻技术扩展到7纳米以下;而Nikon只推ArF浸没系统ღღ。

  据悉ღღ,纳米压印(NIL)已经达到3D NAND的要求ღღ,日本3D NAND大厂铠侠(Kioxiaღღ,原东芝存储部门)已经开始96层3D NAND中使用此技术ღღ。在3D NAND之外 也可以满足1Anm DRAM的生产需求ღღ。